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ACCESS チップビュー・SPMプローブ
シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化可能。高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンで高解像度イメージングを実現
シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化可能。高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンで高解像度イメージングを実現
- ACCESS-NC (ノンコンタクトモード)
- ACCESS-FM (フォースモジュレーションモード)
- ACCESS-C (コンタクトモード)
- ACCESS-UHF (高速AFM用)
- ACCESS-EFM (導電性コーティングプローブ)
- ACCESS-FM-GG (導電性コーティングプローブ)
シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化できます。比類のない高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンにより、高解像度イメージングを実現します。
- コート無し/金コート(反射側)プローブ：空気/液体での使用に好適
- コート無し/アルミコート(反射側)プローブ：空気中での使用に好適
- 両面金コート(GG)プローブ：静電気力顕微鏡/KPFMなどの機能化/非接触電子力顕微鏡検査に好適
- 白金-イリジウムコート(Pt-Ir)プローブ：コンタクトEFM, PFM, KPFMなどに好適
- ドープダイヤモンド(DD)プローブ：SSRM, PFM, EFM, KPFMなどコンタクトモード/タッピングモード 電子力顕微鏡に最適
ACCESS-NC (ノンコンタクトモード)
| ●チップ | |
|---|---|
| 材質 | Si |
| 高さ[µm] | 14-16 |
| コーティング | なし |
| 先端曲率半径[nm] | <10 |
| ●カンチレバー | Nominal | Min | Max |
|---|---|---|---|
| ばね定数[N/m] | 93 | 34 | 243 |
| 共振周波数[kHz] | 320 | 201 | 508 |
| レバー長さ[µm] | 150 | 130 | 170 |
| レバー幅[µm] | 54 | 52 | 56 |
| レバー厚さ[µm] | 5.5 | 4.5 | 6.5 | 反射面コーティング | なし/Al/Au |
ACCESS-FM (フォースモジュレーションモード)
| ●チップ | |
|---|---|
| 材質 | Si |
| 高さ[µm] | 14-16 |
| コーティング | なし |
| 先端曲率半径[nm] | <10 |
| ●カンチレバー | Nominal | Min | Max |
|---|---|---|---|
| ばね定数[N/m] | 2.7 | 0.6 | 8.9 |
| 共振周波数[kHz] | 60 | 32 | 99 |
| レバー長さ[µm] | 245 | 225 | 265 |
| レバー幅[µm] | 52 | 51 | 53 |
| レバー厚さ[µm] | 2.8 | 1.8 | 3.8 | 反射面コーティング | なし/Al/Au |
ACCESS-C (コンタクトモード)
| ●チップ | |
|---|---|
| 材質 | Si |
| 形状 | ピラミッド型 |
| 高さ[µm] | 14-16 |
| ●カンチレバー | Nominal | Min | Max |
|---|---|---|---|
| ばね定数[N/m] | 34 | 15 | 73 |
| 共振周波数[kHz] | 300 | 210 | 400 |
| レバー長さ[µm] | 125 | 115 | 135 |
| レバー幅[µm] | 30 | 25 | 35 |
| レバー厚さ[µm] | 4.0 | 3.5 | 4.5 |
| プローブタイプ | ACT | ACTA | ACTG | ACTGG |
|---|---|---|---|---|
| 反射面コーティング | なし | AL 50nm | Ti/Au 10nm/50nm | |
| 説明 | チップ面コーティング | |||
| チップROC | 6nm（Guaranteed <10nm) | 30nm | ||
| プローブタイプ | ACT-SS | ACTA-SS | ACT-TL | ACTA-TL |
| 反射面コーティング | なし | AL 50nm | なし | AL 50nm |
| 説明 | スーパーシャープ | チップレスプローブ | ||
| チップROC | 1-2nm | チップなし | ||
ACCESS-UHF (高速AFM用)
| ●チップ | |
|---|---|
| 材質 | Si |
| 高さ[µm] | 8-12 |
| 先端曲率半径[nm] | <10 |
| ●カンチレバー | Nominal | Min | Max |
|---|---|---|---|
| ばね定数[N/m] | 115 | 19 | 565 |
| 共振周波数[kHz] | 1100 | 450 | 2400 |
| レバー長さ[µm] | 55 | 45 | 65 |
| レバー幅[µm] | 26 | 25 | 27 |
| レバー厚さ[µm] | 2.8 | 1.8 | 3.8 | 反射面コーティング | なし/Al |
ACCESS-EFM (導電性コーティングプローブ)
| ●チップ | |
|---|---|
| 材質 | Si |
| 高さ[µm] | 14-16 |
| 先端曲率半径[nm] | <30 |
| ●カンチレバー | Nominal | Min | Max |
|---|---|---|---|
| ばね定数[N/m] | 2.7 | 0.6 | 8.9 |
| 共振周波数[kHz] | 60 | 32 | 99 |
| レバー長さ[µm] | 245 | 225 | 265 |
| レバー幅[µm] | 52 | 51 | 53 |
| レバー厚さ[µm] | 2.8 | 1.8 | 3.8 | 反射面コーティング | PtIr |
ACCESS-FM-GG (導電性コーティングプローブ)
| ●チップ | |
|---|---|
| 材質 | Si |
| 高さ[µm] | 14-16 |
| 先端曲率半径[nm] | <30 |
| ●カンチレバー | Nominal | Min | Max |
|---|---|---|---|
| ばね定数[N/m] | 2.7 | 0.6 | 8.9 |
| 共振周波数[kHz] | 60 | 32 | 99 |
| レバー長さ[µm] | 245 | 225 | 265 |
| レバー幅[µm] | 52 | 51 | 53 |
| レバー厚さ[µm] | 2.8 | 1.8 | 3.8 | 反射面コーティング | Au |
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