ACCESS チップビュー・SPMプローブ

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シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化可能。高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンで高解像度イメージングを実現

シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化可能。高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンで高解像度イメージングを実現

 

 

シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化できます。比類のない高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンにより、高解像度イメージングを実現します。

 

  • コート無し/金コート(反射側)プローブ:空気/液体での使用に好適
  • コート無し/アルミコート(反射側)プローブ:空気中での使用に好適
  • 両面金コート(GG)プローブ:静電気力顕微鏡/KPFMなどの機能化/非接触電子力顕微鏡検査に好適
  • 白金-イリジウムコート(Pt-Ir)プローブ:コンタクトEFM, PFM, KPFMなどに好適
  • ドープダイヤモンド(DD)プローブ:SSRM, PFM, EFM, KPFMなどコンタクトモード/タッピングモード 電子力顕微鏡に最適

 

ACCESS-NC (ノンコンタクトモード)

ACCESS-NC (ノンコンタクトモード)

●チップ
材質 Si
高さ[µm] 14-16
コーティング なし
先端曲率半径[nm] <10
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 93 34 243
共振周波数[kHz] 320 201 508
レバー長さ[µm] 150 130 170
レバー幅[µm] 54 52 56
レバー厚さ[µm] 5.5 4.5 6.5
反射面コーティング なし/Al/Au

ACCESS-FM (フォースモジュレーションモード)

ACCESS-FM (フォースモジュレーションモード)

●チップ
材質 Si
高さ[µm] 14-16
コーティング なし
先端曲率半径[nm] <10
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 2.7 0.6 8.9
共振周波数[kHz] 60 32 99
レバー長さ[µm] 245 225 265
レバー幅[µm] 52 51 53
レバー厚さ[µm] 2.8 1.8 3.8
反射面コーティング なし/Al/Au

ACCESS-C (コンタクトモード)

ACCESS-C (コンタクトモード)

●チップ
材質 Si
形状 ピラミッド型
高さ[µm] 14-16
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 34 15 73
共振周波数[kHz] 300 210 400
レバー長さ[µm] 125 115 135
レバー幅[µm] 30 25 35
レバー厚さ[µm] 4.0 3.5 4.5
プローブタイプ ACT ACTA ACTG ACTGG
反射面コーティング なし AL 50nm Ti/Au 10nm/50nm
説明 チップ面コーティング
チップROC 6nm(Guaranteed <10nm) 30nm
プローブタイプ ACT-SS ACTA-SS ACT-TL ACTA-TL
反射面コーティング なし AL 50nm なし AL 50nm
説明 スーパーシャープ チップレスプローブ
チップROC 1-2nm チップなし

ACCESS-UHF (高速AFM用)

ACCESS-UHF (高速AFM用)

●チップ
材質 Si
高さ[µm] 8-12
先端曲率半径[nm] <10
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 115 19 565
共振周波数[kHz] 1100 450 2400
レバー長さ[µm] 55 45 65
レバー幅[µm] 26 25 27
レバー厚さ[µm] 2.8 1.8 3.8
反射面コーティング なし/Al

ACCESS-EFM (導電性コーティングプローブ)

ACCESS-EFM (導電性コーティングプローブ)

●チップ
材質 Si
高さ[µm] 14-16
先端曲率半径[nm] <30
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 2.7 0.6 8.9
共振周波数[kHz] 60 32 99
レバー長さ[µm] 245 225 265
レバー幅[µm] 52 51 53
レバー厚さ[µm] 2.8 1.8 3.8
反射面コーティング PtIr

ACCESS-FM-GG (導電性コーティングプローブ)

ACCESS-FM-GG (導電性コーティングプローブ)

●チップ
材質 Si
高さ[µm] 14-16
先端曲率半径[nm] <30
●カンチレバー Nominal Min Max
ばね定数[N/m] 2.7 0.6 8.9
共振周波数[kHz] 60 32 99
レバー長さ[µm] 245 225 265
レバー幅[µm] 52 51 53
レバー厚さ[µm] 2.8 1.8 3.8
反射面コーティング Au

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