フォトンコントロール(Photon Control) 光ファイバ式温度センサ
Photon Control (フォトン・コントロール) 社は、世界最大手の半導体製造装置メーカー向けに、光学センサを設計、製造するリーディングカンパニーです。 Photon Controlのカスタム光ファイバ温度センサおよび位置センサは、過酷な環境でも世界最高の精度と長期安定性を示し、半導体製造プロセスのモニタリングとコントロールに理想的なソリューションです。2021年5月よりMKSにグループの一員になりました。
高周波(RF)・強磁場環境でも信頼性の高い温度測定が可能な蛍光式のファイバー温度計です。 熱電対や放射温度計などの従来の温度計が不向きな用途、半導体製造装置(エッチング、成膜)、FPD、バッテリー、ブスバー/バスバー、開閉器(スイッチギア)、モーター、発電機、医療向け(MRI、ハイパーサーミア)などに最適です。
光ファイバ温度センサは、高周波・高電圧環境下で正確な温度計測を実現します。このページでは、Photon Control 光ファイバ温度センサの技術や他の方式との比較をご紹介します。