Cambridge Lasers Laboratories　DUV アルゴン/クリプトン・レーザー

Cambridge Lasers Laboratories (ケンブリッジ・レーザーズ・ラボラトリーズ) 社では旧LEXEL社製水冷アルゴン/クリプトンレーザーを継承しており、SHGユニットを搭載することにより229～264nmのDeep UVを出力することが可能です。