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DUVアルゴンレーザー/DUVクリプトンレーザー“Lexel QUANTUM SHG”

高安定性で使い易い周波数ダブリング・イオンレーザーシステム
  • 真のハンズフリー操作でUV出力
  • X/Y調整機構付き BBOマウントで結晶寿命を延長
  • 温度制御機搭載 BBO結晶
  • 高効率な折り畳み式キャビティ
  • 非点収差補正でクリーンなフォーカシング
  • アクティブ安定化レゾネータ
  • 高精度アライメント可能なオプティクスマウント
  • 温度補正プリズム波長セレクタ
  • VIS、UVの出力切替が容易
  • チューブ保証期間:3年間または2500時間

概要

Lexel QUANTUM SHG は、内部共振型 周波数ダブリング・イオンレーザーシステムです。アルゴン波長域 457.9~528.7nm とクリプトン波長域 568.2~676.4nm をカバーする可視域マルチライン出力で、SHGによるDUV(深紫外)光を出力します。ビームモードは TEM00 です。最もシンプルで、最も安定性の高い、3つのミラーによる折り畳み式キャビティ―設計を用いた周波数ダブリング法により、他に類のない非常に優れた安定性でDUV光を出力します。またアクティブ安定化レゾネータで、コールドスタートの時間を短縮し、全体の安定性を向上できます。

真のCW DUVレーザーで、波長域 229~264nm、200mW、さらに可視域 457~528 nm をチューナブルに出力します。最大出力は、スタンダードモデルのLEXELTM QUANTUM 9 SHGで200mW、コンパクトモデルのLEXELTM QUANTUM 8 SHGで50mWです。独自の QuickSwitch 技術により、DUVからVISへ簡単に切り替えられ、カバー波長全域をチューナブルに出力できます。全てのユーザーコントロール及びシステムパラメータは、最新の32ビット ARM Cortex技術を用いた新しい USB iController タッチスクリーンリモートからアクセスできます。

高い実績をもつ LEXELTM PRISMシリーズをベースとし、精密で純度高い BeOプラズマチューブと結晶石英光学ウィンドウを用いて、非常に高品質な横モードと長寿命を実現しています。損傷閾値の高いARコーティングBBO非線形結晶を備えた内部共振型周波数ダブリングシステムによる二倍波発生 (SHG) で深紫外光を生成します。

応用例

  • UVラマン分光
  • 導波路グレーティングアレイの製造
  • 半導体の表面検査
  • 半導体フォトリソグラフィ
  • キャピラリー電気泳動
  • 干渉光学検査
  • 顕微鏡照明
  • タンパク質科学

主な仕様

モデル LEXEL 95-SHG LEXEL 85-SHG
VIS ※1 SHG ※2 VIS ※1 SHG ※2
波長 / 出力 568.2 nm / 225 mW
528.7 nm / 420 mW
514.5 nm / 2400 mW
501.7 nm / 480 mW
496.5 nm / 750 mW
488.0 nm / 1800 mW
476.5 nm / 720 mW
457.9 nm / 420 mW
284 nm / 10 mW
264 nm / 10 mW
257 nm / 200 mW
250 nm / 10 mW
248 nm / 30 mW
244 nm / 100 mW
238 nm / 10 mW
229 nm / 10 mW
528.7 nm / 130 mW
514.5 nm / 400 mW
501.7 nm / 45 mW
496.5 nm / 100 mW
488.0 nm / 350 mW
476.5 nm / 100 mW
457.9 nm / 45 mW
264 nm / inquire
257 nm / 50 mW
N/A
248 nm / 10 mW
244 nm / 25 mW
N/A
229 nm / inquire
モードTEM00TEM00TEM00TEM00
ビーム径 ※3≤1.5 mm0.6 x 0.7 mm≤1.1 mm1.0 x 1.2 mm
ビーム拡がり角, 全角≤1.6 mrad0.7 x 1.3 mm≤0.7 mrad0.6 x 0.6 mm
ビーム偏光横偏光縦偏光横偏光縦偏光
パワー安定性, 光制御時 ※4±0.2%±1%±0.2%±1%

※1 シングルライン出力時。波長によっては特殊なオプティクスが必要です。
※2 BBO結晶当り1つのSHG波長出力
※3 出力カプラ前で計測したビーム径
※4 15分間のウォームアップ後

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