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レーザ専門商社の草分けとして1968年から 研究・開発者のニーズにお応えしてきた日本レーザー

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Varioscale 非接触型厚さ測定装置

Varioscale 非接触型厚さ測定装置

米国 Varioscale (バリオスケール) は、カリフォルニアに所在するレーザー・アシスト・ケミカル・エッチング装置のエンジニアリング技術をベースとした、半導体不良解析用装置/ツール・メーカーです。光学測定技術と精密研磨技術を統合した、ユニークな半導体チップ研磨装置を提案します。

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非接触型厚さ測定装置 “VarioMetric”

Varioscale  

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1~500μm)測定用。小型・高速・高精度

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