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Corning Tropel DUVレンズ

Corning Tropel DUVレンズ

米国Corning Tropel (コーニング・トロペル) 社はEUVステッパー、半導体ウエハおよびホトマスク検査用レンズ、アブレーション、レーザー直描等高度な深紫外レンズ、光学部品およびサブシステムのワールドサプライヤーです。
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DUV反射屈折複合型対物レンズ“μCAT Pantherシリーズ”

Corning Tropel  

反射と屈折を組み合わせたDUV用小型レンズ。高NA・長作動距離などの高性能を実現

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