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2019/04/08

【新製品】Sensofar社 新型S neox 3D測定顕微鏡

スピードを追求した新しい三次元表面形状・面粗さ計測

3D測定顕微鏡 高速・多機能モデル S neox

Sensofar Metrology(センソファー・メトロロジー)から、主力製品 S neox 光学式形状測定装置の第5世代が発売されました。
S neoxはレーザー顕微鏡の基本原理である共焦点法に加え、光干渉法、焦点移動法を1台に搭載した3-in-1が特長の高速3D形状測定装置です。このたび発売された新型モデルは、マイクロディスプレイ走査共焦点顕微鏡などの独自技術により、従来の5倍もの高速化を実現しています。


主な新機能

  • 高速化(従来比:5倍)
  • 新方式(アクティブ照明焦点移動法)およびHDR(ハイダイナミックレンジ)アルゴリズムの採用により、鏡面や透明体の滑らかな表面の計測が可能に
  • 薄膜計測モード:透明膜の膜厚(50 nm~1.5 μm)を1秒以内で測定。迅速、正確、非破壊。
  • 高解像度5Mピクセルカメラ(従来比:約4倍)とスマートノイズ検出アルゴリズムにより、画質が格段に向上
  • 微分干渉観察(DIC)機能:ナノメートル台の段差も明確に観察

主な用途

  • 粗さ計測(機械仕上げ面、電極表面等)
  • 透明なフィルムやコーティングの膜厚計測
  • PCB回路パターン
  • 機械工具の刃先形状計測
  • 高速測定を活かした品質検査
  • レーザーテクスチャリング
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