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2020/07/30

【新製品&セミナー開催】Lumina Instruments社 基板用高速欠陥検査装置

Lumina Instruments社 基板用高速欠陥検査装置”AT1″ 発売

感度50オングストローム(5ナノメートル)の、高速・高感度レーザスキャニング欠陥検査装置です。
主にFPD、フィルム、ITO、ガラス、半導体用の基板や、表面状態の検査に活用できます。

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特長

  • 欠陥感度: 50Å(5nm、膜残渣など)
  • 大面積(~300mm)で、上記感度を維持
  • 高速検査(50mm x 50mmを30秒でフルスキャン&データ表示)

 

欠陥種類

洗浄残渣、膜残渣、保護フイルム由来の残渣、スクラッチ痕、パーティクル、ストレス、ステイン

測定対象

  • 透明、不透明
  • シリコン、コンポジット
  • 金属基板、円形/非円形基板
  • 最大300mm x 300mm

 

オンラインセミナー

ガラスのサンプルを使用したオンラインセミナーを行います。

  • 開催日時:2020年 8/4(火) pm11:00, 8/6(木) am10:30 (※いずれも日本時間。内容は同じです。)
  • 使用言語:英語
  • 参加費:無料

 

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