製品詳細

主な機能と仕様

高精度&高い柔軟性で最良の加工を実現
フル機能マシン動作可能システム

  • 産業向けの丈夫な一体型デザイン
  • システムインテグレーションが簡単
  • コンパクト&軽量
  • 縦置き&横置き両対応
  • アンビリカルケーブル取り外し可能
  • 低コスト&オンサイト保守可能
  • 幅広い繰返し周波数範囲
  • 高速A/D変調機能
  • FlexBurstTM モード

高出力微細加工用ピコ秒レーザー“PicoBlade”の概要

PicoBlade は、最高の精度と信頼性で、ほぼ全ての材料に対する加工を実現する汎用システムです。

現在のピコ秒レーザーの多くは、パルスエネルギーが固定で、また大抵その値が必要に対して大きすぎます。このようなレーザーでは、パルスエネルギーは平均出力パワーを下げることでしか調節できないため、ハイパワーレーザーを用いても高い生産スループットが見込めません。

対象的に PicoBlade は、平均出力値を下げずにパルスエネルギーを調節できますので、加工速度も維持できます。 PicoBlade は、レーザープロセスの可能性を制限しない、最も柔軟性に優れたピコ秒レーザーです。

応用例

  • 高速精密マイクロマシニング
  • ガラスの切断/溶接/スクライビング
  • 硬質材料加工(ダイアモンド、サファイア、カーバイド、セラミック、CVD)
  • 半導体のダイシング
  • 複数材料の穴あけ加工
  • 選択的薄膜アブレーション

主な仕様

波長 1064nm 532nm 355nm
出力パワー 高出力タイプ 最大50W 最大25W 最大15W
中出力タイプ 最大12W 最大6W 最大3W
低出力タイプ 最大4.4W 最大0.9W 最大0.4W
繰返し周波数 シングルショット to 8MHz
パルスエネルギー 最大200μJ 最大125μJ 最大75μJ
パルスエネルギー安定性 < 0.5% rms (>1kHz)
パルス幅@1064nm 10ps
ピークパワー 20.0MW 12.5MW 7.5MW
空間モード TEM00, M2 <1.2 TEM00, M2 <1.2 TEM00, M2 <1.3
ビームポインティング安定性 <40μrad/℃
ターンオン時間 <15分
電圧 (単相) 100-240 V AC
周波数 50-60 Hz
入力電力 (単相) 2100VA
レーザーヘッド
サイズ
(LxWxH (mm), 重量)
IR出力
1139x410x138, 80kg N/A N/A
緑色or UV出力 N/A 1279x410x138, 80kg 1279x410x138, 80kg
3波長出力 1375x410x138, 80kg
電源(19"ラック)サイズ 435x139(3RU)x483 mm (LxWxH), 26kg
チラー(19"ラック)サイズ 640x267(6RU)x483 mm (LxWxH), 42kg
パワー vs. 繰り返し周波数(例) パルスエネルギー vs. 繰り返し周波数
高出力 PicoBlade,
1064 nm, 532 nm, 355 nm での
パワー vs. 繰り返し周波数(例)
高出力 PicoBlade,
1064 nm, 532 nm, 355 nm での
パルスエネルギー vs. 繰り返し周波数

オプション

  • 532 nm, 355 nm 出力。自動切替え機能
  • 低出力パワー, 低コスト構成
  • 高パルスエネルギー
  • 高速ラインスキャナ用 Super-sync
  • プロセスシャッター
  • アンビリカルケーブル長ご指定

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