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レーザ専門商社の草分けとして1968年から 研究・開発者のニーズにお応えしてきた日本レーザー

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製品情報

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ミニマルCD-SEM

TCK  

ミニマル規格に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM
(※「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の登録商標です。)

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ナノ・マイクロ微細パターンのマクロ解析評価装置“ARC scan”

スミックス株式会社  

マクロ撮像技術を利用した微細パターンの均一性解析評価技術

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マクロ照明モジュール

スミックス株式会社  

ウェハ上のゴミや傷と同時にデフォーカスの欠陥を手早く観察するのに最適な照明モジュール

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MEMS材料マルチ評価試験装置 マイクロメカニカルステーション "FT-MTA02" New

  

生体材料を含む広い分野のメカニカル試験とマイクロアセンブリー

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生体分子ライブ観察顕微鏡 "N-Lab Station" New

  

最小0.1nmの膜厚変化をリアルタイムモニタリング可能
分子間相互作用をライブイメージングとトポグラフィ

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インライン用組込型3D形状測定ヘッド “S mart & S onix” New

  

インラインの組み込み用に開発された高性能3D形状測定ヘッド

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高速3D形状測定装置“S neox & S lynx” New

  

共焦点顕微鏡、白色干渉計、全焦点形状測定の3機能を1台に集約した非接触高速3D形状測定装置

製品カタログ

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コンパクト触針式段差計 “NanoMap-PS” New

  

ノイズを最小にした小型、低ノイズ、簡単操作、2次元表示のシンプルな段差計

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MEMSデバイス評価試験装置“FT-MPS02” New

  

MEMSデバイスの電気特性と機械特性の両方を測定する試験装置

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イオン化ポテンシャル測定装置“PYS” New

  

有機膜のイオン化ポテンシャルと仕事関数を測定するPYS光電子収量分光装置

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