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レーザ専門商社の草分けとして1968年から 研究・開発者のニーズにお応えしてきた日本レーザー

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製品情報

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大面積対応ナノインプリント装置“UV Roller Press ScanRシリーズ”

エンジニアリング・システム  

UVローラー・プレス・スキャン®方式により
小型軽量な装置で大面積インプリントを実現

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卓上トライアル用UV Roller Press ScanR式インプリント装置“ローラー・ミニERP-210”

エンジニアリング・システム  

UV Roller Press Scan®式のご検討の際に最適なエントリー・モデル

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大面積トライアル/生産用UV-Roller Press ScanR “ERPSシリーズ”

エンジニアリング・システム  

トライアル用途で最大450mm×500mm、生産用途では最大390mm×490mmまでの最大転写領域に対応。開発~生産での応用までスムーズにカバーします。

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トライアル用小型ナノインプリント装置“UV mini EUN-4200 II”

エンジニアリング・システム  

インプリント・プロセスの“いろは”が把握しやすい初心者向け全手動小型装置。ナノインプリントに手軽にトライできます。

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インプリント・モールド

日本レーザー  

3Dから高アスぺクト比形状まで対応

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ナノ・マイクロ微細パターンのマクロ解析評価装置“ARC scan”

スミックス  

マクロ撮像技術を利用した微細パターンの均一性解析評価技術

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マクロ照明モジュール

スミックス  

ウェハ上のゴミや傷と同時にデフォーカスの欠陥を手早く観察するのに最適な照明モジュール

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大面積UV-LED光源(フルカスタム)

エンジニアリング・システム  

広い面照射が可能なUV-LED光源。375nm ±5nm, 有効照射面積 200 x 200 mm。

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