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ニュース

2016/09/29

【新製品】KSI社 マルチプローブ搭載 超音波顕微鏡 V8-DUO / V8-Multihead

KSI社製 超音波顕微鏡Vシリーズにマルチプローブ搭載モデル登場

複数プローブ搭載品が手頃な標準モデルで登場。同時スキャンでスループットを飛躍的に向上


2本プローブ搭載モデル「V8-DUO」

最大16本搭載モデル「V8-Multihead」


KSIの超音波顕微鏡(超音波映像装置)Vシリーズに新たに追加された、「V8-DUO」及び「V8-Multihead」は、複数の超音波プローブを搭載し、同時にスキャンすることでスループットを飛躍的に高めたモデルです。

これまで、複数プローブ搭載製品はカスタムモデルとして対応しておりましたが、カスタム品ということで価格が跳ね上がってしまうのがネックでした。そこで、KSI社では部品や制御系統を共通化。スタンダードモデルとしてこれまでより割安な価格にて販売を開始しました。

2本プローブ搭載モデル「V8-DUO」、および最大16本搭載の「V8-Multihead」の2モデルで展開。通常は1つのプローブをスキャンするため、大きい面積をスキャンする場合には長時間を要しましたが、複数のプローブを同時にスキャンすることで、検査速度を倍以上に短縮することができます。
トレイに並べた多数のワークだけでなく、ウェハなどの一枚ものワークについても画像マージにより同じようにスキャン時間を短縮することができます。その他の使用方法として、違う周波数/焦点距離のプローブを同じ箇所でスキャンし、厚みのあるワークについて一気に検査を行うこともできます。


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