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Oxford Lasers
顧客の要求に沿った最先端レーザー加工システム
コンパクト設計で研究開発に最適
用途に応じたレーザーを搭載可能
Heidelberg Instruments Mikrotechnik
ハイデルベルグ・インスツルメンツ社製レーザー直接描画装置は、2次元のパターンニングだけでなく、マイクロオプティクス分野でのマイクロレンズ・アレイやグレーティングなどレジストへの3次元構造のパターンニングにも対応できます。
低価格で高精度、3次元パターン形成を実現する3D描画モードにも対応
高速、高信頼性、自動基板ローディング・システムも搭載可能
描画速度を大幅に向上するファースト・ビーム・モジュール搭載モデルをラインナップ
コンパクトで簡単操作ながらも3D描画モードにも対応 最小描画サイズ１ミクロン（オプション）を実現！！
最小描画サイズ1μmで1200mm2/分の描画スピードを達成する高速描画システム
当社ではHeidelberg Instruments社製品を各種展示会に出展しております。
日本レーザー
紫外クリプトンレーザーやアルゴンレーザーを搭載した新方式の露光装置 ＤＶＤ露光の他にも従来の光ディスク原盤露光にそのまま転用可能 トラックピッチ間隔は、０.０５～２.５０±０.０１μｍの設定が可能 最小ピット幅は０.２μｍ以下
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